Поверхневi напруження на початкових етапах окислення GexSi1−x/Si(001)
DOI:
https://doi.org/10.15407/ujpe59.02.0148Ключові слова:
напруження, анiзотропiя напружень, окисленняАнотація
За допомогою аналiзу змiн розмiрiв елементарних комiрок, яке вiдбувається внаслiдок утворення на їх поверхнях димерiв або адсорбцiї атомiв i молекул, якiсно розглянуто пружнi напруження чистої поверхнi GexSi1−x/Si(001) та на початкових етапах її окислення. Вони мають майже однаковий характер, як для чистої поверхнi GexSi1−x/Si(001), так i пiсля адсорбцiї на нeї молекул O2 або 1-го, 2-х та 3-х атомiв O. Напруження виявились анiзотропними: вздовж димерних рядiв вони були стискаючими та приблизно у 3 рази бiльшими вiд розтягуючих напружень у напрямку, перпендикулярному до димерних рядiв (вздовж димерного зв’язку).
Посилання
F.K. LeGoues, R. Rosenberg et al., J. Appl. Phys. 65, 1724 (1989).
https://doi.org/10.1063/1.342945
T. Fukuda and T. Ogino, Surf. Sci. 380, 469 (1997).
https://doi.org/10.1016/S0039-6028(97)00017-4
T. Fukuda and T. Ogino, Surf. Sci. 357-358, 748 (1996).
https://doi.org/10.1016/0039-6028(96)00257-9
T. Fukuda, Jpn. J. Appl. Phys. 38, 1450 (1999).
https://doi.org/10.1143/JJAP.38.L1450
I.P. Koval, Yu.A. Len', and M.G. Nakhodkin, Visn. Kyiv. Univ. Ser. Fiz. Mat. Nauky 1, 275 (2006).
J.L. Alerharda, D. Vanderblit, R.D. Mende et al., Phys. Rev. Lett. 61, 1973 (1988).
https://doi.org/10.1103/PhysRevLett.61.1973
J. Dabrowski, and H.-J. Mussing, Silicon Surfaces and Formation of Interfaces. Basic Science in the Industrial World (World Scientific, Singapore, 2000); H. Ibach, Physics of Surfaces and Interfaces (Springer, Berlin, 2006).
M.C. Payene, Rev. Mod. Phys. 64, 1045 (1992).
https://doi.org/10.1103/RevModPhys.64.1045
V. Kon, Usp. Fiz. Nauk 172, 336 (2000).
https://doi.org/10.3367/UFNr.0172.200203e.0336
X. Gonze, B. Amadon, P.M. Anglade et al., Comp. Mater. Sci. 25, 478 (2002).
https://doi.org/10.1016/S0927-0256(02)00325-7
H.J. Monkhorst and J.D. Pack, Phys. Rev. B 13, 5188 (1976).
https://doi.org/10.1103/PhysRevB.13.5188
A. Garcia and J.E. Northrup, Phys. Rev. B 48, 3156 (1993).
https://doi.org/10.1103/PhysRevB.48.3156
R. Shaltaf, M. ¸Cakmak, E. Mete et al., Surf. Sci. 566-568, 956 (2004).
https://doi.org/10.1016/j.susc.2004.06.036
M. ¸Cakmak, R. Shaltaf, G.P. Srivastava et al., Surf. Sci. 532-535, 661 (2003).
https://doi.org/10.1016/S0039-6028(03)00454-0
O.L. Alerhand, J. Wang, J.D. Joannopoulos et al., Phys. Rev. B 44, 6534 (1991).
https://doi.org/10.1103/PhysRevB.44.6534
T.V. Afanasieva, I.P. Koval, M.G. Nakhodkin et al, Visn. Kyiv. Univ. Ser. Fiz. Mat. Nauky 2, 207 (2007).
T. Afanasieva, I. Koval, M. Nakhodkin et al., Ukr. J. Phys. 56, 240 (2011).
T. Afanasieva, I. Koval, M. Nakhodkin et al., Ukr. J. Phys. 57, 355 (2012).
F. Liu and M.G. Lagally, Phys. Rev. Lett. 76, 3156 (1995).
https://doi.org/10.1103/PhysRevLett.76.3156
F. Wu and M.G. Lagally, Phys. Rev. Lett. 75, 2534 (1995).
https://doi.org/10.1103/PhysRevLett.75.2534
R. Felici, I.K. Robinson, C. Ottaviani et al., Surf. Sci. 375, 55 (1997).
https://doi.org/10.1016/S0039-6028(97)80005-2
T. Afanasieva, I. Koval, M. Nakhodkin et al., Ukr. J. Phys. 56, 352 (2011).
Downloads
Опубліковано
Як цитувати
Номер
Розділ
Ліцензія
Ліцензійний Договір
на використання Твору
м. Київ, Україна
Відповідальний автор та співавтори (надалі іменовані як Автор(и)) статті, яку він (вони) подають до Українського фізичного журналу, (надалі іменована як Твір) з одного боку та Інститут теоретичної фізики імені М.М. Боголюбова НАН України в особі директора (надалі – Видавець) з іншого боку уклали даний Договір про таке:
1. Предмет договору.
Автор(и) надає(ють) Видавцю безоплатно невиключні права на використання Твору (наукового, технічного або іншого характеру) на умовах, визначених цим Договором.
2. Способи використання Твору.
2.1. Автор(и) надає(ють) Видавцю право на використання Твору таким чином:
2.1.1. Використовувати Твір шляхом його видання в Українському фізичному журналі (далі – Видання) мовою оригіналу та в перекладі на англійську (погоджений Автором(ами) і Видавцем примірник Твору, прийнятого до друку, є невід’ємною частиною Ліцензійного договору).
2.1.2. Переробляти, адаптувати або іншим чином змінювати Твір за погодженням з Автором(ами).
2.1.3. Перекладати Твір у випадку, коли Твір викладений іншою мовою, ніж мова, якою передбачена публікація у Виданні.
2.2. Якщо Автор(и) виявить(лять) бажання використовувати Твір в інший спосіб, як то публікувати перекладену версію Твору (окрім випадку, зазначеного в п. 2.1.3 цього Договору); розміщувати повністю або частково в мережі Інтернет; публікувати Твір в інших, у тому числі іноземних, виданнях; включати Твір як складову частину інших збірників, антологій, енциклопедій тощо, то Автор(и) мають отримати на це письмовий дозвіл від Видавця.
3. Територія використання.
Автор(и) надає(ють) Видавцю право на використання Твору способами, зазначеними у п.п. 2.1.1–2.1.3 цього Договору, на території України, а також право на розповсюдження Твору як невід’ємної складової частини Видання на території України та інших країн шляхом передплати, продажу та безоплатної передачі третій стороні.
4. Строк, на який надаються права.
4.1. Договір є чинним з дати підписання та діє протягом усього часу функціонування Видання.
5. Застереження.
5.1. Автор(и) заявляє(ють), що:
– він/вона є автором (співавтором) Твору;
– авторські права на даний Твір не передані іншій стороні;
– даний Твір не був раніше опублікований і не буде опублікований у будь-якому іншому виданні до публікації його Видавцем (див. також п. 2.2);
– Автор(и) не порушив(ли) права інтелектуальної власності інших осіб. Якщо у Творі наведені матеріали інших осіб за виключенням випадків цитування в обсязі, виправданому науковим, інформаційним або критичним характером Твору, використання таких матеріалів здійснене Автором(ами) з дотриманням норм міжнародного законодавства і законодавства України.
6. Реквізити і підписи сторін.
Видавець: Інститут теоретичної фізики імені М.М. Боголюбова НАН України.
Адреса: м. Київ, вул. Метрологічна 14-б.
Автор: Електронний підпис від імені та за погодження всіх співавторів.
.png){kind=small}
