Формування нанорозмiрних фаз при акусто-стимульованому iонно-променевому синтезi

Автор(и)

  • V. G. Litovchenko V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • V. P. Melnik V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • B. M. Romanjuk V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine

DOI:

https://doi.org/10.15407/ujpe60.01.0064

Ключові слова:

iонна iмплантацiя, ультразвукове збудження, дефекти, дифузiя, нанокластери, прихованi шари

Анотація

Представлено результати дослiджень взаємодiї прискорених iонiв з твердим тiлом при in situ ультразвуковiй обробцi. Запропонований комбiнований метод акусто-стимульованого iонно-променевого легування (синтезу) твердотiльних мiшеней дозволяє ефективно управляти перерозподiлом радiацiйних дефектiв, якi виникають пiд час взаємодiї прискорених частинок з твердим тiлом. Використання цього методу дозволяє впливати на швидкiсть протiкання квазiхiмiчних реакцiй в нанорозмiрних структурах, стимулювати прискорення або уповiльнення процесiв масопереносу i змiнювати умови формування, росту або розпаду фаз у твердотiльних матрицях.

Опубліковано

2019-01-22

Як цитувати

Litovchenko, V. G., Melnik, V. P., & Romanjuk, B. M. (2019). Формування нанорозмiрних фаз при акусто-стимульованому iонно-променевому синтезi. Український фізичний журнал, 60(1), 64. https://doi.org/10.15407/ujpe60.01.0064

Номер

Розділ

Тверде тіло