Effect of Argon Deposition Pressure on the Properties of Aluminum-Doped ZnO Films Deposited Layer-by-Layer Using Magnetron Sputtering

V. I. Popovych; A. I. Ievtushenko; O. S. Lytvyn; V. R. Romanjuk; V. M. Tkach; V. A. Baturyn; O. Y. Karpenko; M. V. Dranchuk; L. O. Klochkov; M. G. Dushejko; V. A. Karpyna; G. V. Lashkarov

doi:10.15407/ujpe61.04.0325

Вплив тиску аргону в камерi осадження на властивостi легованих алюмiнiєм плiвок ZnO, вирощених методом пошарового осадження при магнетронному розпиленнi

Автор(и)

V. I. Popovych I.M. Frantsevych Institute for Problems of Materials Science, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
A. I. Ievtushenko I.M. Frantsevych Institute for Problems of Materials Science, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
O. S. Lytvyn V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
V. R. Romanjuk V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
V. M. Tkach V. Bakul Institute for Superhard Materials, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
V. A. Baturyn Institute of Applied Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
O. Y. Karpenko Institute of Applied Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
M. V. Dranchuk I.M. Frantsevych Institute for Problems of Materials Science, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
L. O. Klochkov I.M. Frantsevych Institute for Problems of Materials Science, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
M. G. Dushejko National Technical University of Ukraine “Kyiv Polytechnic Institute”
V. A. Karpyna I.M. Frantsevych Institute for Problems of Materials Science, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
G. V. Lashkarov I.M. Frantsevych Institute for Problems of Materials Science, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine

DOI:

https://doi.org/10.15407/ujpe61.04.0325

Ключові слова:

плiвки ZnO, легування алюмiнiєм, вплив тиску аргону, рентгенiвський дифракцiйний аналiз

Анотація

Плiвки ZnO:Al були осадженi на кремнiєвi та склянi пiдкладки методом пошарового осадження в високочастотному магнетронному розпиленнi при змiнi тиску аргону в камерi осадження вiд 0,5 до 2 Па. Дослiджено вплив тиску аргону в камерi осадження на структуру, оптичнi та електричнi властивостi плiвок ZnO:Al. Встановлено, що збiльшення тиску аргону призводить до зниження рухливостi електронiв у прозорих провiдних плiвках ZnO:Al та погiршення їх провiдних властивостей за рахунок розсiяння на границях зерен. Показано, що збiльшення поглинання вiльними носiями зi збiльшенням тиску аргону призводить до зниження прозоростi плiвок ZnO:Al у видимiй областi спектра випромiнювання.

Downloads

Опубліковано

2019-01-06

Як цитувати

Popovych, V. I., Ievtushenko, A. I., Lytvyn, O. S., Romanjuk, V. R., Tkach, V. M., Baturyn, V. A., Karpenko, O. Y., Dranchuk, M. V., Klochkov, L. O., Dushejko, M. G., Karpyna, V. A., & Lashkarov, G. V. (2019). Вплив тиску аргону в камерi осадження на властивостi легованих алюмiнiєм плiвок ZnO, вирощених методом пошарового осадження при магнетронному розпиленнi. Український фізичний журнал, 61(4), 325. https://doi.org/10.15407/ujpe61.04.0325

Завантажити посилання

Номер

Том 61 № 4 (2016)

Розділ

Тверде тіло

Ліцензія

Ліцензійний Договір
на використання Твору
м. Київ, Україна

Відповідальний автор та співавтори (надалі іменовані як Автор(и)) статті, яку він (вони) подають до Українського фізичного журналу, (надалі іменована як Твір) з одного боку та Інститут теоретичної фізики імені М.М. Боголюбова НАН України в особі директора (надалі – Видавець) з іншого боку уклали даний Договір про таке:

1. Предмет договору.
Автор(и) надає(ють) Видавцю безоплатно невиключні права на використання Твору (наукового, технічного або іншого характеру) на умовах, визначених цим Договором.

2. Способи використання Твору.
2.1. Автор(и) надає(ють) Видавцю право на використання Твору таким чином:
2.1.1. Використовувати Твір шляхом його видання в Українському фізичному журналі (далі – Видання) мовою оригіналу та в перекладі на англійську (погоджений Автором(ами) і Видавцем примірник Твору, прийнятого до друку, є невід’ємною частиною Ліцензійного договору).
2.1.2. Переробляти, адаптувати або іншим чином змінювати Твір за погодженням з Автором(ами).
2.1.3. Перекладати Твір у випадку, коли Твір викладений іншою мовою, ніж мова, якою передбачена публікація у Виданні.
2.2. Якщо Автор(и) виявить(лять) бажання використовувати Твір в інший спосіб, як то публікувати перекладену версію Твору (окрім випадку, зазначеного в п. 2.1.3 цього Договору); розміщувати повністю або частково в мережі Інтернет; публікувати Твір в інших, у тому числі іноземних, виданнях; включати Твір як складову частину інших збірників, антологій, енциклопедій тощо, то Автор(и) мають отримати на це письмовий дозвіл від Видавця.

3. Територія використання.
Автор(и) надає(ють) Видавцю право на використання Твору способами, зазначеними у п.п. 2.1.1–2.1.3 цього Договору, на території України, а також право на розповсюдження Твору як невід’ємної складової частини Видання на території України та інших країн шляхом передплати, продажу та безоплатної передачі третій стороні.

4. Строк, на який надаються права.
4.1. Договір є чинним з дати підписання та діє протягом усього часу функціонування Видання.

5. Застереження.
5.1. Автор(и) заявляє(ють), що:
– він/вона є автором (співавтором) Твору;
– авторські права на даний Твір не передані іншій стороні;
– даний Твір не був раніше опублікований і не буде опублікований у будь-якому іншому виданні до публікації його Видавцем (див. також п. 2.2);
– Автор(и) не порушив(ли) права інтелектуальної власності інших осіб. Якщо у Творі наведені матеріали інших осіб за виключенням випадків цитування в обсязі, виправданому науковим, інформаційним або критичним характером Твору, використання таких матеріалів здійснене Автором(ами) з дотриманням норм міжнародного законодавства і законодавства України.

6. Реквізити і підписи сторін.
Видавець: Інститут теоретичної фізики імені М.М. Боголюбова НАН України.
Адреса: м. Київ, вул. Метрологічна 14-б.
Автор: Електронний підпис від імені та за погодження всіх співавторів.