Термохромні властивості плівок оксиду ванадію, отриманих магнетронним напиленням

Автор(и)

  • В.П. Мельник Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
  • І.М. Хацевич Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
  • Ю.В. Голтвянський Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
  • В.А. Нікірін Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
  • Б.М. Романюк Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
  • В.Г. Попов Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
  • В.П. Кладькo Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
  • А.В. Кучук Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України

DOI:

https://doi.org/10.15407/ujpe56.6.534

Ключові слова:

-

Анотація

Досліджено структурні, електрофізичні та оптичні властивості термохромних плівок VO2, отриманих магнетронним напиленням. Продемонстровано можливість поліпшення термохромних властивостей плівок VO2 при їх двостадійному формуванні: напиленні при температурі підкладки 200 ºС і подальшим термічними відпалом. Дані експериментальних досліджень підтверджують формування в досліджуваних плівках кристалітів діоксиду ванадію з середнім розміром 26 нм та моноклінною кристалічною ґраткою. При фазовому переході зміна провідності плівок досягає трьох порядків, а оптичне
пропускання змінюється (при довжині хвилі зондуючого світла λ = 2 мкм) у 16 разів. Показано, що зміна параметрів відпалу
синтезованих плівок дозволяє варіювати термохромні властивості плівок. Отримані результати пояснюються в межах моделі формування нановключень кристалічної фази VO2.

Посилання

T. Christman, B. Felde, W. Niessner, D. Schalch, and A. Scharmann, Thin Solid Films 287, 134 (1996).

https://doi.org/10.1016/S0040-6090(96)08770-6

D. Brassard, S. Fourmax, M. Jean-Jacques, J.C. Kieffer, and M.A. El Khakani, Appl. Phys. Lett. 87, 051910 (2005).

https://doi.org/10.1063/1.2001139

F.J. Morin et al., Phys. Rev. Lett. 3, 34 (1959).

https://doi.org/10.1103/PhysRevLett.3.34

E.M. Heckman, L.P. Gonzalez, S. Guha, J.O. Barnes, and A. Carpenter, Thin Solid Films 518, 265 (2009).

https://doi.org/10.1016/j.tsf.2009.05.063

H. Bialas, A. Dillenz, H. Downar, and P. Ziemann, Thin Solid Films 338, 60 (1999).

https://doi.org/10.1016/S0040-6090(98)00995-X

G. Garry, O. Durand, and A. Lordereau, Thin Solid Films 453-454, 427 (2004).

https://doi.org/10.1016/j.tsf.2003.11.118

R. Lopez, L.C. Feldman, and R.F. Haglund, Phys. Rev. Lett. 93, 177403 (2004).

https://doi.org/10.1103/PhysRevLett.93.177403

H.J. Schlag and W. Scherber, Thin Solid Films 366, 28 (2000).

https://doi.org/10.1016/S0040-6090(00)00711-2

N.R. Mlyuka, G.A. Niklasson, and C.G. Granqvist, Solar Energy Materials & Solar Cells 93, 1685 (2009).

https://doi.org/10.1016/j.solmat.2009.03.021

S. Lu, L. Hou, and F. Gan, Thin Solid Films 353, 40 (1999).

https://doi.org/10.1016/S0040-6090(99)00428-9

Moon-Hee Lee and Myoung-Geun Kim, Thin Solid Films 286, 219 (1996).

https://doi.org/10.1016/S0040-6090(96)08536-7

A.Romanyuk, R. Steiner, L. Marot, and P. Oelhafen, Solar Energy Materials & Solar Cells 91, 1831 (2007).

https://doi.org/10.1016/j.solmat.2007.06.013

R. T. Kivaisi, and M. Samiji, Solar Energy Materials, & Solar Cells 57, 141 (1999).

https://doi.org/10.1016/S0927-0248(98)00166-4

A. Gentle, A.I. Maaroof and G.B. Smith, Nanotechnology 18, 025202 (2007).

https://doi.org/10.1088/0957-4484/18/2/025202

H. Wang, X. Yi, and Y. Li, Optics Communications 256, 305 (2005).

https://doi.org/10.1016/j.optcom.2005.07.005

Опубліковано

2022-02-10

Як цитувати

Мельник, В., Хацевич, І., Голтвянський, Ю., Нікірін, В., Романюк, Б., Попов, В., Кладькo В., & Кучук, А. (2022). Термохромні властивості плівок оксиду ванадію, отриманих магнетронним напиленням. Український фізичний журнал, 56(6), 534. https://doi.org/10.15407/ujpe56.6.534

Номер

Розділ

Оптика, лазери, квантова електроніка