Механізми масопереносу індію в CdTe при дії наносекундних лазерних імпульсів

Автор(и)

  • А. Байдулаєва Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
  • В.П. Велещук Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
  • О.І. Власенко Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
  • В.А. Гнатюк Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
  • Б.К. Даулєтмуратов Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
  • С.М. Левицький Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
  • Т. Аокі Університет Сідзуока, Науково-дослідний інститут електроніки

DOI:

https://doi.org/10.15407/ujpe56.2.168

Ключові слова:

-

Анотація

Розглянуто механізми імпульсного лазерного твердофазного легування CdTe індієм при створенні діодних структур для детекторів рентгенівського і гамма-випромінювання. Показано, що масоперенос індію в CdTe при наносекундному лазерному опроміненні структури Іn–CdTе до порога плавлення CdTe відбувається за механізмом бародифузії – внаслідок значного градієнта напружень. Розраховано коефіцієнти масопереносу індію та оцінено середню дрейфову швидкість
переміщення атомів Іn в CdTe під час опромінення наносекундним імпульсом ексимерного лазера структури Іn–CdTe з товщиною плівки Іn 30 нм при оптимальному для легування значенні густини енергії E = 100 мДж/см2.

Посилання

V.A. Gnatyuk, T. Aoki, and Y. Hatanaka, Appl. Phys. Lett. 88, 242111 (2006).

https://doi.org/10.1063/1.2213511

O.I. Vlasenko, V.A. Gnatyuk, S.M. Levyts'kyi, and T. Aoki, Patent No. 41216, Ukraine; Bull. No. 9 (2009).

A. Yu. Bonchik, S.G. Kyyak, G.N. Mikhailova, A.V. Pokhmurskaya, and G.V. Savitskii, Kvant. Elektr. 22, 95 (1995).

K.K. Jamanbalin and A.G. Dmitriev, Fiz. Tekhn. Polupr. 24, 2024 (1990).

N.K. Zelenina and O.A. Matveev, Pis'ma Zh. Tekhn. Fiz. 24, 1 (1998).

https://doi.org/10.1134/1.1262136

I.M. Budzulyak, O.I. Danilovich, M.I. Zbykovskaya, I.V. Omanchukovskaya, and O.E. Panchuk, Izv. AN SSSR. Ser. Fiz. 49, 765 (1985).

V.P. Veleshchuk, A. Baidullaeva, A.I. Vlasenko, V.A. Gnatyuk, B.K. Dauletmuratov, S.N. Levitskii, O.V. Lyashenko, and Т. Aoki, Fiz. Tekhn. Polupr. 52, 439 (2010).

https://doi.org/10.1134/S1063783410030054

V.P. Voronkov and G.A. Gurchenok, Fiz. Tekhn. Polupr. 24, 1831 (1990).

J. Manning, Diffusion Kinetics for Atoms in Crystals (Van Nostrand, Princeton, 1968).

https://doi.org/10.1119/1.1974325

D.S. Gertsriken, V.F. Mazanko, V.M. Tyshkevich, and V.M. Fal'chenko, Mass Transfer in Metals at Low Temperatures under External Stresses (RIO IMF, Kiev, 1999) (in Russian).

D.S. Gertsriken, V. F. Mazanko, and V. M. Fal'chenko, Pulsed Treatment and Mass Transfer in Metals at Low Temperatures (Naukova Dumka, Kiev, 1991) (in Russian).

M.E. Gurevich, A.F. Zhuravlyov, L.N. Larikov, V.G. Novitskii, and A.E. Pogorelov, Metallofiz. 3, 108 (1981).

M.E. Gurevich, L.N. Larikov, V.F. Mazanko, A.E. Pogorelov, and V.M. Fal'chenko, Fiz. Khim. Obrab. Mater. No. 2, 7 (1977).

L.N. Larikov, V.F. Mazanko, A.I. Nosar', and V.M. Fal'chenko, Ukr. Fiz. Zh. 22, 1518 (1977).

V.M. Mironov, V.F. Mazanko, D.S. Gertsriken, and A.V. Filatov, Mass Transfer and Phase Formation in Metals under Pulsed Treatment (Samara University, Samara, 2001) (in Russian).

V.M. Mironov, O.A. Mironova, L.A. Mitlina, D.S. Gertsriken, and A.I. Ignatenko, Fiz. Khim. Obrab. Mater. No. 4, 77 (2006).

https://doi.org/10.4213/tmf2010

G.A. Sukach, Fiz. Tekhn. Polupr. 31, 753 (1997).

https://doi.org/10.1134/1.1187235

V.B. Fiks, Ion Conductivity in Metals and Semiconductors (Electrotransfer ) (Nauka, Moscow, 1969) (in Russan).

B.M. Mogilevskii and A.F. Chudnovskii, Heat Conductivity of Semiconductors (Nauka, Moscow, 1972) (in Russian).

A.N. Bekrenev and G.N. Epshtein, Postdeformation Processes of High-Speed Loading (Metallurgiya, Moscow, 1992) (in Russian).

V.A. Putilin, A.M. Shterenberg, A.V. Kamashev, and A.I. Krestelev, Vestn. Samar. Gos. Tekhn. Univ., Ser. Fiz.-Mat. Nauki, No.9, 190 (2000).

https://doi.org/10.14498/vsgtu49

Ya.G. Panovko, Fundamentals of Applied Theory of Vibrations and Shock (Librokom, Moscow, 2010) (in Russian).

V.F. Mazanko and A.E. Pogorelov, Metallofiz. 4, 108 (1984).

V.A. Putilin and A.M. Shterenberg, Vestn. Samar. Gos. Tekhn. Univ., Ser. Fiz.-Mat. Nauki, No. 27, 157 (2004).

https://doi.org/10.14498/vsgtu294

A.N. Bekrenev, A.V. Kamashev, and V.A. Putilin, Pis'ma Zh. Tekhn. Fiz. 19, 14 (1993).

A.E. Pogorelov, K.P. Ryaboshapka, and A.F. Zhuravlyov, J. Appl. Phys. 92, 5766 (2002).

https://doi.org/10.1063/1.1512972

V.M. Mironov, T.F. Mironova, Yu.N. Koval', D.S. Gertsriken, and V.V. Alekseeva, Vestn. Samar. Gos. Tekhn. Univ., Ser. Estestv. Nauk. No. 3, 134 (2006).

Опубліковано

2022-02-16

Як цитувати

Байдулаєва, А., Велещук, В., Власенко, О., Гнатюк, В., Даулєтмуратов, Б., Левицький, С., & Аокі, Т. (2022). Механізми масопереносу індію в CdTe при дії наносекундних лазерних імпульсів. Український фізичний журнал, 56(2), 168. https://doi.org/10.15407/ujpe56.2.168

Номер

Розділ

Тверде тіло