Електричнi властивостi оксидокремнiєвих гетероструктур на основi поруватого кремнiю

Автор(и)

  • I. B. Olenych Ivan Franko National University of L’viv
  • L. S. Monastyrskyi Ivan Franko National University of L’viv
  • B. P. Koman Ivan Franko National University of L’viv

DOI:

https://doi.org/10.15407/ujpe62.02.0166

Ключові слова:

поруватий кремнiй, плiвка оксиду кремнiю, ВАХ, енергiя активацiї електропровiдностi, термостимульована деполяризацiя

Анотація

Методами вольт-амперних характеристик i термоактивацiйної спектроскопiї вивчено процеси перенесення та релаксацiї носiїв заряду в оксидокремнiєвих гетероструктурах на основi поруватого кремнiю. Дослiджено температурнi залежностi провiдностi експериментальних структур в iнтервалi 80–325 К та визначено енергiю активацiї електропровiдностi. На основi температурних залежностей струму деполяризацiї розраховано енергетичний розподiл локалiзованих електронних станiв, якi впливають на процеси перенесення заряду у структурах на основi поруватого кремнiю. Проаналiзовано вплив поверхневого покриття поруватого шару тонкою плiвкою SiOx на його електричнi характеристики. Отриманi результати розширюють перспективу застосування оксидокремнiєвих наносистем.

Опубліковано

2018-12-23

Як цитувати

Olenych, I. B., Monastyrskyi, L. S., & Koman, B. P. (2018). Електричнi властивостi оксидокремнiєвих гетероструктур на основi поруватого кремнiю. Український фізичний журнал, 62(2), 166. https://doi.org/10.15407/ujpe62.02.0166

Номер

Розділ

Наносистеми