Синтез одностiнних вуглецевих нанотрубок у запиленiй плазмi тлiючого розряду

Автор(и)

  • Ya. Hayashi Kyoto Institute of Technology
  • Ya. Masaki Kyoto Institute of Technology
  • R. Yamada Kyoto Institute of Technology

DOI:

https://doi.org/10.15407/ujpe59.04.0411

Ключові слова:

carbon nanotube, ion bombardment, dusty plasma, plasma-enhanced chemical vapor deposition

Анотація

Синтезовано малi частинки вуглецю, у тому числi одностiннi вуглецевi нанотрубки (ОВНТ) напиленням методом гарячої нитки i методом хiмiчного осадження з пари за участю плазми. Визначено їх питомi площi поверхнi. Розряд нестабiльний через зменшення кiлькостi електронiв у плазмi за рахунок приєднання їх до зростаючих малих частинок. У плазмi з високою густиною пилу густина електронiв i заряд пилу зменшуються синхронно. Розрахунок абсолютного потенцiалу пилу показав, що бiльш високий потенцiал|VD| реалiзується у плазмi з бiльшою густиною особливо в умовах високої густини i пилинок великих розмiрiв. Очiкується, що малi частинки вуглецю з високими площами поверхнi будуть синтезованi в плазмi з високою густиною завдяки генерацiї дефектiв в ОВНТ при iонному бомбардуваннi.

Посилання

A.C. Dillon et al., Nature 386, 377 (1997).

https://doi.org/10.1038/386377a0

S.M. Lee et al., J. Am. Chem. Soc. 123, 5059 (2001).

https://doi.org/10.1021/ja003751+

Y. Akai and S. Saito, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 640 (2003).

https://doi.org/10.1143/JJAP.42.640

S. Iijima and T. Ichihashi, Nature 363, 603 (1993).

https://doi.org/10.1038/363603a0

A. Thess et al., Science 273, 483 (1996).

https://doi.org/10.1126/science.273.5274.483

H.M. Cheng et al., Appl. Phys. Lett. 72, 3282 (1998).

https://doi.org/10.1063/1.121624

G. Zhong, T. Iwasaki, K. Honda, Y. Furukawa, I. Ohdomari, and H. Kawarada, Jpn. J. Appl. Phys. 44, 1558 (2005).

https://doi.org/10.1143/JJAP.44.1558

Y. Hayashi, M. Imano, Y. Mizobata, and K. Takahashi, Plasma Sources Sci. Technol. 19, 034019 (2010).

https://doi.org/10.1088/0963-0252/19/3/034019

R. Yamada, Y. Masaki, and Y. Hayashi, to be published in Proc. JSAP-MRS Joint Symposia (2013).

Y. Hayashi, M. Imano, Y. Kinoshita, Y. Kimura, and Y. Masaki, Jpn. J. Appl. Phys. 50, 08JF09 (2011).

https://doi.org/10.7567/JJAP.50.08JF09

Ph. Belenguer and J.P. Boeuf, Phys. Rev. A 41, 4447 (1990).

https://doi.org/10.1103/PhysRevA.41.4447

J.P. Boeuf and Ph. Belenguer, J. Appl. Phys. 71, 4751 (1992).

https://doi.org/10.1063/1.350666

Ph. Belenguer et al., Phys. Rev. A 46, 7923 (1992).

https://doi.org/10.1103/PhysRevA.46.7923

K. Tachibana, Y. Hayashi, T. Okuno, and T. Tatsuta, Plasma Sources Sci. Technol. 3, 314 (1994).

https://doi.org/10.1088/0963-0252/3/3/012

Downloads

Опубліковано

2018-10-19

Як цитувати

Hayashi, Y., Masaki, Y., & Yamada, R. (2018). Синтез одностiнних вуглецевих нанотрубок у запиленiй плазмi тлiючого розряду. Український фізичний журнал, 59(4), 411. https://doi.org/10.15407/ujpe59.04.0411

Номер

Розділ

Тверде тіло