Дослiдження рекомбiнацiйних параметрiв сонячного кремнiю методом спектроскопiї поверхневої фото-ерс
DOI:
https://doi.org/10.15407/ujpe60.10.1036Ключові слова:
метод комбiнованої поверхневої спектроскопiї фото-ерс, сонячний кремнiй, поверхневий просторовий зарядАнотація
Методом комбiнованої поверхневої спектроскопiї фото-ерс Vsc(л) дослiджено фундаментальнi рекомбiнацiйнi параметри фоточутливого сонячного кремнiєвого матерiалу. Запропонований метод проаналiзовано на прикладi 4-х типових кремнiєвих структур: 1) пластини промислового фоточутливого кремнiю з хiмiчно травленою (реальною) поверхнею; 2) структури з iмплантованою рекомбiнацiйно-активною домiшкою (Fe+); 3) структури SiO2–Si з фронтальним iнверсним каналом; 4) структури з дифузiйним p–n-переходом. Проведено порiвняння з формулами для рiзних актуальних випадкiв, а саме для спектрiв прямих та зворотних фото-ерс VSC, 1/VSC в координатах прямого та оберненого коефiцiєнта поглинання k та 1/k. Розраховано наступнi рекомбiнацiйнi характеристики сонячного кремнiю: швидкостi поверхневої та об’ємної рекомбiнацiй S та Vv; координацiйна залежнiсть приповерхневих рекомбiнацiйно-активних домiшок та структурних технологiчних домiшок та дефектiв в областi приповерхневого просторового заряду.
Посилання
W. Gartner, Phys. Rev. 105, 823 (1957).
V.A. Zuev and V.G. Litovchenko, Phys. Status Solidi B 16, 751 (1966); V.A. Zuev, V.G. Litovchenko, and V.V. Antoshchuk, Surf. Sci. 32, 365 (1972).
N.L. Dmitruk, Yu.V. Kryuchenko, V.G. Litovchenko, V.G. Popov, and M.A. Stepanova, Phys. Status Solidi A 124, 183 (1991).
A.P. Gorban', V.G. Litovchenko, V.G. Popov, and A.A. Serba, Fiz. Tekh. Poluprovodn. 2, 1400 (1977).
V.G. Litovchenko and A.P. Gorban', Fundamentals of Physics of Metal-Insulator-Semiconductor Microelectronic Systems (Naukova Dumka, Kyiv, 1978) (in Russian).
L. Kronik and Y. Shapira, Surf. Sci. Rep. 37, 1 (1999).
A.P. Gorban', V.P. Kostylev, A.V. Sachenko, A.A. Serba, and V.V. Chernenko, Optoelektr. Poluprovodn. Tekhn. 37, 61 (2002).
A.V. Sachenko, V.P. Kostylev, and V.G. Litovchenko, Ukr. J. Phys. 58, 142 (2013).
V.G. Litovchenko, V.M. Naseka, and A.A. Evtukh, Ukr. J. Phys. 57, 71 (2012).
D. Kr¨uger, H. R¨ucker, B. Heinemann, V. Melnik, R. Kurps, and D. Bolze, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 455 (2004).
B. Romanjuk, V. Kladko, V. Melnik, V. Popov, V. Yukhymchuk, A. Gudymenko, Y. Olikh, G. Weidner, and D. Kr¨uger, Mat. Sci. Semicond. Process. 8, 171 (2005).
O. Oberemok, V. Kladko, V. Litovchenko, B. Romanyuk, V. Popov, V. Melnik, A. Sarikov, O. Gudymenko, and J. Vanhellemont, Semicond. Sci. Technol. 29, 055008 (2014).
V.G. Litovchenko, B.M. Romanyuk, V.G. Popov, V.P. Melnik, O.S. Oberemok, V.P. Kladko, I.P. Lisovskyi, V.V. Strelchuk, V.V. Chernenko, and V.O. Shapovalov, Metallofiz. Noveish. Tekhnol. 33, 873 (2011).
V.G. Litovchenko and V.M. Strikha, Solar Power Industry: An Agenda for the World and Ukraine (K.I.S., Kyiv, 2015) (in Ukrainian).
O. Korotchenko, A. Podolian, V. Kuryliuk, B. Romanyuk, V. Melnik, and I. Khatsevich, J. Appl. Phys. 111, 063501 (2012).
O. Nichiporuk, A. Kaminski, M. Lemiti, A. Fave, S. Litvinenko, and V. Skryshevsky, Thin Solid Films 511–512, 248 (2006).
O. Nichiporuk, A. Kaminski, M. Lemiti, A. Fave, and V. Skryshevsky, Sol. Energ. Mater. Sol. Cells 86, 517 (2005).
Завантаження
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Ліцензійний Договір
на використання Твору
м. Київ, Україна
Відповідальний автор та співавтори (надалі іменовані як Автор(и)) статті, яку він (вони) подають до Українського фізичного журналу, (надалі іменована як Твір) з одного боку та Інститут теоретичної фізики імені М.М. Боголюбова НАН України в особі директора (надалі – Видавець) з іншого боку уклали даний Договір про таке:
1. Предмет договору.
Автор(и) надає(ють) Видавцю безоплатно невиключні права на використання Твору (наукового, технічного або іншого характеру) на умовах, визначених цим Договором.
2. Способи використання Твору.
2.1. Автор(и) надає(ють) Видавцю право на використання Твору таким чином:
2.1.1. Використовувати Твір шляхом його видання в Українському фізичному журналі (далі – Видання) мовою оригіналу та в перекладі на англійську (погоджений Автором(ами) і Видавцем примірник Твору, прийнятого до друку, є невід’ємною частиною Ліцензійного договору).
2.1.2. Переробляти, адаптувати або іншим чином змінювати Твір за погодженням з Автором(ами).
2.1.3. Перекладати Твір у випадку, коли Твір викладений іншою мовою, ніж мова, якою передбачена публікація у Виданні.
2.2. Якщо Автор(и) виявить(лять) бажання використовувати Твір в інший спосіб, як то публікувати перекладену версію Твору (окрім випадку, зазначеного в п. 2.1.3 цього Договору); розміщувати повністю або частково в мережі Інтернет; публікувати Твір в інших, у тому числі іноземних, виданнях; включати Твір як складову частину інших збірників, антологій, енциклопедій тощо, то Автор(и) мають отримати на це письмовий дозвіл від Видавця.
3. Територія використання.
Автор(и) надає(ють) Видавцю право на використання Твору способами, зазначеними у п.п. 2.1.1–2.1.3 цього Договору, на території України, а також право на розповсюдження Твору як невід’ємної складової частини Видання на території України та інших країн шляхом передплати, продажу та безоплатної передачі третій стороні.
4. Строк, на який надаються права.
4.1. Договір є чинним з дати підписання та діє протягом усього часу функціонування Видання.
5. Застереження.
5.1. Автор(и) заявляє(ють), що:
– він/вона є автором (співавтором) Твору;
– авторські права на даний Твір не передані іншій стороні;
– даний Твір не був раніше опублікований і не буде опублікований у будь-якому іншому виданні до публікації його Видавцем (див. також п. 2.2);
– Автор(и) не порушив(ли) права інтелектуальної власності інших осіб. Якщо у Творі наведені матеріали інших осіб за виключенням випадків цитування в обсязі, виправданому науковим, інформаційним або критичним характером Твору, використання таких матеріалів здійснене Автором(ами) з дотриманням норм міжнародного законодавства і законодавства України.
6. Реквізити і підписи сторін.
Видавець: Інститут теоретичної фізики імені М.М. Боголюбова НАН України.
Адреса: м. Київ, вул. Метрологічна 14-б.
Автор: Електронний підпис від імені та за погодження всіх співавторів.
.png){kind=small}
