Вплив високотемпературного вiдпалу на структуру та край власного поглинання тонкоплiвкового кремнiю, легованого оловом

Автор(и)

  • R. M. Rudenko Taras Shevchenko National University of Kyiv, Faculty of Physics
  • V. V. Voitovych Institute of Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • M. M. Kras’ko Institute of Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • A. G. Kolosyuk Institute of Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • A. M. Kraichynskyi Institute of Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • V. O. Yukhymchuk V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • V. A. Makara Taras Shevchenko National University of Kyiv, Faculty of Physics

DOI:

https://doi.org/10.15407/ujpe58.08.0769

Ключові слова:

тонкоплiвковий кремнiй, легування оловом, кристалiзацiя, оптична заборонена зона, iзохронний вiдпал

Анотація

Дослiджено вплив iзохронного вiдпалу в дiапазонi 350–1100 oС на структурнi властивостi та край власного поглинання тонких плiвок кремнiю, легованих оловом (a-SiSn). Отримано, що у структурi a-SiSn (олова ~4 ат. %), на вiдмiну вiд нелегованого a-Si, зразу пiсля осадження присутнi нанокристали кремнiю (розмiр кристалiтiв ~4 нм, частка кристалiчної фази ~65%). Показано, що iзохронний вiдпал a-SiSn в дiапазонi 350–1100 oС поступово збiльшує розмiри нанокристалiв кремнiю в аморфнiй матрицi до ~7 нм, а частку кристалiчної фази до ~100%. Кристалiзацiя нелегованого оловом a-Si починається лише при температурах вiдпалу бiльше 700 oС. Проаналiзовано вплив олова на оптичну ширину забороненої зони a-Si залежно вiд температури iзохронного вiдпалу.

UJP 2013 V58 #8

Завантаження

Опубліковано

2018-10-10

Номер

Том 58 № 8 (2013)

Розділ

Тверде тіло

Ліцензія

Ліцензійний Договір
на використання Твору
м. Київ, Україна

Відповідальний автор та співавтори (надалі іменовані як Автор(и)) статті, яку він (вони) подають до Українського фізичного журналу, (надалі іменована як Твір) з одного боку та Інститут теоретичної фізики імені М.М. Боголюбова НАН України в особі директора (надалі – Видавець) з іншого боку уклали даний Договір про таке:

1. Предмет договору.
Автор(и) надає(ють) Видавцю безоплатно невиключні права на використання Твору (наукового, технічного або іншого характеру) на умовах, визначених цим Договором.

2. Способи використання Твору.
2.1. Автор(и) надає(ють) Видавцю право на використання Твору таким чином:
2.1.1. Використовувати Твір шляхом його видання в Українському фізичному журналі (далі – Видання) мовою оригіналу та в перекладі на англійську (погоджений Автором(ами) і Видавцем примірник Твору, прийнятого до друку, є невід’ємною частиною Ліцензійного договору).
2.1.2. Переробляти, адаптувати або іншим чином змінювати Твір за погодженням з Автором(ами).
2.1.3. Перекладати Твір у випадку, коли Твір викладений іншою мовою, ніж мова, якою передбачена публікація у Виданні.
2.2. Якщо Автор(и) виявить(лять) бажання використовувати Твір в інший спосіб, як то публікувати перекладену версію Твору (окрім випадку, зазначеного в п. 2.1.3 цього Договору); розміщувати повністю або частково в мережі Інтернет; публікувати Твір в інших, у тому числі іноземних, виданнях; включати Твір як складову частину інших збірників, антологій, енциклопедій тощо, то Автор(и) мають отримати на це письмовий дозвіл від Видавця.

3. Територія використання.
Автор(и) надає(ють) Видавцю право на використання Твору способами, зазначеними у п.п. 2.1.1–2.1.3 цього Договору, на території України, а також право на розповсюдження Твору як невід’ємної складової частини Видання на території України та інших країн шляхом передплати, продажу та безоплатної передачі третій стороні.

4. Строк, на який надаються права.
4.1. Договір є чинним з дати підписання та діє протягом усього часу функціонування Видання.

5. Застереження.
5.1. Автор(и) заявляє(ють), що:
– він/вона є автором (співавтором) Твору;
– авторські права на даний Твір не передані іншій стороні;
– даний Твір не був раніше опублікований і не буде опублікований у будь-якому іншому виданні до публікації його Видавцем (див. також п. 2.2);
– Автор(и) не порушив(ли) права інтелектуальної власності інших осіб. Якщо у Творі наведені матеріали інших осіб за виключенням випадків цитування в обсязі, виправданому науковим, інформаційним або критичним характером Твору, використання таких матеріалів здійснене Автором(ами) з дотриманням норм міжнародного законодавства і законодавства України.

6. Реквізити і підписи сторін.
Видавець: Інститут теоретичної фізики імені М.М. Боголюбова НАН України.
Адреса: м. Київ, вул. Метрологічна 14-б.
Автор: Електронний підпис від імені та за погодження всіх співавторів.

Як цитувати

Вплив високотемпературного вiдпалу на структуру та край власного поглинання тонкоплiвкового кремнiю, легованого оловом. (2018). Український фізичний журнал, 58(8), 769. https://doi.org/10.15407/ujpe58.08.0769

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають

<< < 1 2