Вплив тиску аргону в камерi осадження на властивостi легованих алюмiнiєм плiвок ZnO, вирощених методом пошарового осадження при магнетронному розпиленнi. Ukr. J. Phys. [інтернет]. 06, Січень 2019 [цит. за 11, Вересень 2026];61(4):325. доступний у: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019095