Вплив парціального тиску азоту на реактивне магнетронне розпилення Ti13Cu87 мішені: моделювання хімічного складу. Ukr. J. Phys. [інтернет]. 30, Червень 2012 [цит. за 11, Вересень 2026];57(6):642. доступний у: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021247