Влияние ИК подсветки на рассеяние электронов проводимости в облученных протонами с энергией 25 МэВ кристаллах n-Si

Автор(и)

  • T. A. Pagava Georgian Technical University, Department of Engineering Physics
  • L. S. Chkhartishvili Georgian Technical University, Department of Engineering Physics
  • N. I. Maisuradze Georgian Technical University, Department of Engineering Physics
  • M. G. Beridze Georgian Technical University, Department of Engineering Physics
  • D. Z. Khocholava Georgian Technical University, Department of Engineering Physics

DOI:

https://doi.org/10.15407/ujpe60.06.0521

Ключові слова:

кремний n-типа, облучение протонами, метод фото-Холл-эффекта

Анотація

Исследуемые образцы монокристаллов n-Si с концентрацией электронов N = 6 × 1013−3 облучались протонами с энергией 25 МэВ при 300 К. Для исследования применяли метод фото-Холл-эффекта. В облученных образцах наблюдается аномально высокое значение холловской подвижности электронов, что объясняется образованием в объеме кристалла высокопроводящих включений с омическим переходом на границе с матрицей кристалла. При некоторых температурах изохронного отжига наблюдается аномально высокое рассеяние электронов, которое уменьшается монохроматической ИК подсветкой с заданной энергией фотонов. Подсветка деионизирует электростатически взаимодействующие вторичные глубокие дефекты, которые образуются в процессе изохронного отжига вокруг высокопроводящих включений и экранируют их. Показано, что такими экранирующими дефектами являются в основном A- и E-центры.

Посилання

I.I. Kolkovskii and V.V. Lukyanitsa, Fiz. Tekh. Poluprovodn. 31, 405 (1997).

V.B. Neimash, V.M. Siratskii, A.N. Kraichinskii, and E.A. Puzenko, Fiz. Tekh. Poluprovodn. 32, 1049 (1998).

E.P. Neustroev, S.A. Smagulova, I.V. Antonova, and L.N. Safronov, Fiz. Tekh. Poluprovodn. 38, 791 (2004).

L.I. Matveeva, A.A. Groza, P.G. Litovchenko, P.L. Neliuba, M.B. Pinkovska, and M.I. Starchyk, in Proceedings of the 7th International Conference MEE (IPMS, Kiyv, 2012), p. 204 .

V.I. Obodnikov and E.G. Tishkovskii, Fiz. Tekh. Poluprovodn. 32, 417 (1998).

K.V. Feklistov, L.I. Fedin, and A.G. Cherkov, Fiz. Tekh. Poluprovodn. 44, 302 (2010).

F.V. Stas', I.V. Antonova, E.P. Neustroev, V.P. Popov, and L.S. Smirnov, Fiz. Tekh. Poluprovodn. 34, 162 (2000).

E.G. Tishkovskii, V.I. Obodnikov, A.A. Taskin, K.V. Feklistov, and V.G. Sryapin, Fiz. Tekh. Poluprovodn. 34, 655 (2000).

M. Karimov, M.A. Jalelov, and R.M. Kochkarov, [http://www.iaea.org/33 007214.pdf].

R. Poirier, V. Avalos, S. Dannefaer, F. Schiettekatte, and S. Roord, Physica B 340-342, 609 (2003).

http://dx.doi.org/10.1016/j.physb.2003.09.240

D.I. Tetelbaum, A.A. Ezhevsky, and A.N. Mikhailov, Fiz. Tekh. Poluprovodn. 37, 1380 (2003).

J.R. Shrour, Ch.J. Marshall, and P.W. Marshall, IEEE Trans. Nucl. Sci. 50, 653 (2003).

http://dx.doi.org/10.1109/TNS.2003.813197

B.R. Gossick, J. Appl. Phys. 30, 1214 (1959).

http://dx.doi.org/10.1063/1.1735295

R.F. Konopleva, V.L. Litvinov, and N.A. Ukhin, The Features of Radiation-Induced Damage of Semiconductors by High-Energy Particles (Atomizdat, Moscow, 1971) (in Russian).

N.A. Ukhin, Fiz. Tekh. Poluprovodn. 6, 831 (1972).

V.I. Kuznetsov and P.F. Lugakov, Fiz. Tekh. Poluprovodn. 13, 625 (1979).

V.I. Kuznetsov and P.F. Lugakov, Fiz. Tekh. Poluprovodn. 14, 1924 (1980).

T.A. Pagava and N.I.Maisuradze, Fiz. Tekh. Poluprovodn. 44, 160 (2010).

T.A. Pagava, N.I. Maisuradze, and M.G. Beridze, Fiz. Tekh. Poluprovodn. 45, 582 (2011).

T.A. Pagava, M.G. Beridze, and N.I. Maisuradze, Fiz. Tekh. Poluprovodn. 46, 1274 (2012).

L.S. Milevskii and V.S. Garnyk, Fiz. Tekh. Poluprovodn. 13, 1369 (1979).

V.A. Kozlov and V.V. Kozlovskii, Fiz. Tekh. Poluprovodn. 35, 769 (2001).

V.S. Vavilov, V.F. Kiselev, and B.N. Mukashev, Defects in Silicon and on Its Surface (Nauka, Moscow, 1990) (in Russian).

L.S. Milevskii, T.M. Tkacheva, and T.A. Pagava, Zh. Eksp. Teor. Fiz. 69, 132 (1975).

E.V. Kuchis, Galvano-Magnetic Effects and Methods of Their Research (Radio i Svyaz', Moscow, 1990) (in Russian).

S.V. Bezlyudnyi and I.V. Kolesnikov, Fiz. Tekh. Poluprovodn. 10, 1964 (1976).

T.A. Pagava, and L.S. Chkhartishvili, Ukr. Fiz. Zh. 48, 232 (2003).

I.V. Antonova, S.S. Shaimiev, and S.F. Smagulova, Fiz. Tekh. Poluprovodn. 40, 557 (2006).

W.T. Read, Phil. Mag. 45, 775 (1954).

http://dx.doi.org/10.1080/14786440808520491

Завантаження

Опубліковано

2019-01-17

Номер

Розділ

Тверде тіло

Як цитувати

Влияние ИК подсветки на рассеяние электронов проводимости в облученных протонами с энергией 25 МэВ кристаллах n-Si. (2019). Український фізичний журнал, 60(6), 521. https://doi.org/10.15407/ujpe60.06.0521

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають