Дослiдження термопружностi у кристалi кремнiю методом iнтерференцiї поляризованого випромiнювання з використанням модуляцiйної поляриметрiї

Автор(и)

  • I. A. Minailova V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine

DOI:

https://doi.org/10.15407/ujpe60.03.0268

Ключові слова:

модуляцiйна поляриметрiя, термопружнiсть, фотопружнiсть, iнтерференцiя поляризованого випромiнювання, механiчне напруження

Анотація

Методом реєстрацiї стану поляризацiї зондуючого випромiнювання у пропусканнi пластинкою кристалiчного кремнiю дослiджується оптична анiзотропiя, що зумовлена тепловим потоком вiд зовнiшнього контактного нагрiву. У вимiрюваннях використано технiку модуляцiйної поляриметрiї, завдяки високiй виявнiй здатностi якої дослiдження проведено в умовах незначного перепаду температур та температурно незалежних коефiцiєнтiв. Виявлено суперпозицiю iнтерференцiй циркулярно поляризованого випромiнювання у дво- та багатопроменевому варiантах i показано, що iз її параметрiв можна отримати вiдомостi про величини механiчного напруження (дiелектричної анiзотропiї) та визначити деякi оптичнi коефiцiєнти.

Посилання

A.D. Kovalenko, Thermoelasticity. Basic Theory and Applications (Walters-Noordhoff, Groningen, 1969).

T. Iwaoka, S. Yokogama, and Y. Osaka, Jpn. J. Appl. Phys. 24, 112 (1984).

http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.24.112

I.I. Vlasov, V.G. Ralchenko, E.D. Obraztsova, A.A. Smolin, and V.I. Konov, Appl. Phys. Lett. 71, 1789 (1997).

http://dx.doi.org/10.1063/1.119399

B. Eigenmann, B. Scholtes, and E. Macherauch, Mater. Sci. Eng. A 118, 1 (1989).

http://dx.doi.org/10.1016/0921-5093(89)90052-X

M.R. Daymond, M.A. Bourke, and R.B. Von Dreele, B. Clausen, and T.J. Lorentzen, J. Appl. Phys. 82, 1554 (1997).

http://dx.doi.org/10.1063/1.365956

M. Ceretti, C. Braham, J.L. Lebrun, J.P. Bonnafe, M. Perrin, and A. Lodini, Exp. Techniques 20, No. 3, 14 (1996).

http://dx.doi.org/10.1111/j.1747-1567.1996.tb00893.x

E.S. Gorkunov and M.V. Tartachnaya, Zav. Laborat. 59, 22 (1993).

G.N. Chernyshev, A.L. Popov, V.M. Kozintsev, and I.I. Ponomarev, Residual Stresses in Deformed Solids (Nauka, Moscow, 1996) (in Russian).

M.J. Pechersky, R.F. Miller, and C.S. Vikram, Opt. Eng. 34, 2964 (1995).

http://dx.doi.org/10.1117/12.210762

C.S. Vikram, M.J. Pechersky, C. Feng, and D. Engelhaupt, Exp. Techniques 20, No. 6, 27 (1996).

http://dx.doi.org/10.1111/j.1747-1567.1996.tb00476.x

A.Ya. Aleksandrov and M.Kh. Akhmetzyanov, Polarization Optical Methods of Mechanics of Deformable Solids (Nauka, Moscow, 1973) (in Russian).

Yu.I. Sirotin and M.P. Shaskolskaya, Fundamentals of Crystal Physics (Imported Publ., Chicago, 1983).

B.K. Serdega, Modulation Polarimetry (Naukova Dumka, Kyiv, 2011) (in Ukrainian).

M. Qian, Chinese J. Acoust. 14, No. 2, 97 (1995).

R.M. Burbelo and M.K. Zhabitenko, in Progress in Natural Science (Taylor and Francis, London, 1996), Suppl. Vol. 6, p. 720.

R.M. Burbelo, A.L. Gulyaev, L.I. Robur et al., J. Phys. (Paris) C7 4, 311 (1994).

H. Zhang, S. Gissinger, G. Weides, and U. Netzelmann, J. Phys. (Paris) C7 4, 603 (1994).

K.L. Muratikov, A.L. Glazov, and D.N. Rose, J.E. Dumar, and G.H. Quay, Pis'ma Zh. Tekhn. Fiz. 26, No. 5, 44 (1997).

R.M.A. Azzam and N.M. Bashara, Ellipsometry and Polarized Light (North-Holland, Amsterdam, 1989).

M. Born and E. Wolf, Principles of Optics: Electromagnetic Theory of Propagation, Interference and Diffraction of Light (Cambridge Univ. Press, Cambridge, 1999).

http://dx.doi.org/10.1017/CBO9781139644181

A. Dargys and J. Kundrotas, Handbook on Physical Properties of Ge, Si, GaAs and InP (Science and Encyclopedia Publishers, Vilnius, 1994).

I.E. Matyash, I.A. Minailova, O.N. Mishchuk, and B.K. Serdega, Fiz. Tverd. Tela 55, 1003 (2013).

S.A. Akhmanov and S.Yu. Nikitin, Physical Optics (Clarendon Press, Oxford, 1997).

Завантаження

Опубліковано

2019-01-21

Номер

Розділ

Тверде тіло

Як цитувати

Дослiдження термопружностi у кристалi кремнiю методом iнтерференцiї поляризованого випромiнювання з використанням модуляцiйної поляриметрiї. (2019). Український фізичний журнал, 60(3), 268. https://doi.org/10.15407/ujpe60.03.0268

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають