Деструкцiя нанонеоднорiдностей поверхнi дiелектрикiв оптичним ближнiм полем
DOI:
https://doi.org/10.15407/ujpe62.09.0763Ключові слова:
subnano-polishing, destruction, dipole-dipole interaction, photodissociation, optical near-field, evanescent waveАнотація
У роботi проведенi дослiдження деструкцiї нанонеоднорiдностей поверхнi кварцової пiдкладки за допомогою оптичної ближньопольової диполь-дипольної взаємодiї атомарного хлору з SiO2. Запропоновано спосiб отримання атомарного хлору шляхом локальної фотодисоцiацiї молекулярного хлору оптичним ближнiм полем нанонеоднорiдностей кварцової пiдкладки. Дослiджено поляризацiю атомiв хлору i SiO2 за допомогою еванесцентної хвилi, яка генерується на поверхнi пiдкладки. Запропоновано метод отримання найбiльш оптимальної орiєнтацiї диполiв атомарного хлору i SiO2, використовуючи особливостi оптичного ближнього поля, для максимально ефективної деструкцiї нано-неоднорiдностей кварцової пiдкладки. Розглянуто використання моделi складеної квазiчастинки для опису оптичної ближньопольової взаємодiї диполiв.
Посилання
L.M. Cook. Chemical processes in glass polishing. J. NonCryst. Solids 120, 152 (1990).
https://doi.org/10.1016/0022-3093(90)90200-6
M. Ohtsu. Progress in Nano–Electro–Optics VII (Springer, 2010) [ISBN: 978-3-642-03951-5].
https://doi.org/10.1007/978-3-642-03951-5
G. Otsu, T. Yatsui, T. Kawazoe, K. Nomura. Patent of Japan, No. JP2013143169A (2013).
G. Otsu, T. Kawazoe, K. Nomura, T. Yatsui. Patent of Japan, No. JP2014022411A (2014).
G. Otsu, T. Yatsui. Patent of Japan, No. JP2015162518A (2015).
G. Otsu, T. Yatsui, Patent of Japan, No. JP2016171189A (2016).
V.S. Sydorenko, Y.O. Gayday, S.V. Zhyla. Peculiarities of the near-field of a Hertz dipole. Visn. Kyiv. Nats. Univ. (Ser. Fiz. Mat.) 2, 365 (2005).
K. Kobayashi, T. Kawazoe, M. Ohtsu. Importance of multiple-phonon interactions in molecular dissociation and nanofabrication using optical near fields. IEEE Trans. Nanotechnol. 4, 517 (2005).
https://doi.org/10.1109/TNANO.2005.851406
A.L. Ivanov, H. Haug, L.V. Keldysh. Optics of excitonic molecules in semiconductors and semiconductor microstructures. Phys. Rep. 296, 237 (1998).
Завантаження
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Ліцензійний Договір
на використання Твору
м. Київ, Україна
Відповідальний автор та співавтори (надалі іменовані як Автор(и)) статті, яку він (вони) подають до Українського фізичного журналу, (надалі іменована як Твір) з одного боку та Інститут теоретичної фізики імені М.М. Боголюбова НАН України в особі директора (надалі – Видавець) з іншого боку уклали даний Договір про таке:
1. Предмет договору.
Автор(и) надає(ють) Видавцю безоплатно невиключні права на використання Твору (наукового, технічного або іншого характеру) на умовах, визначених цим Договором.
2. Способи використання Твору.
2.1. Автор(и) надає(ють) Видавцю право на використання Твору таким чином:
2.1.1. Використовувати Твір шляхом його видання в Українському фізичному журналі (далі – Видання) мовою оригіналу та в перекладі на англійську (погоджений Автором(ами) і Видавцем примірник Твору, прийнятого до друку, є невід’ємною частиною Ліцензійного договору).
2.1.2. Переробляти, адаптувати або іншим чином змінювати Твір за погодженням з Автором(ами).
2.1.3. Перекладати Твір у випадку, коли Твір викладений іншою мовою, ніж мова, якою передбачена публікація у Виданні.
2.2. Якщо Автор(и) виявить(лять) бажання використовувати Твір в інший спосіб, як то публікувати перекладену версію Твору (окрім випадку, зазначеного в п. 2.1.3 цього Договору); розміщувати повністю або частково в мережі Інтернет; публікувати Твір в інших, у тому числі іноземних, виданнях; включати Твір як складову частину інших збірників, антологій, енциклопедій тощо, то Автор(и) мають отримати на це письмовий дозвіл від Видавця.
3. Територія використання.
Автор(и) надає(ють) Видавцю право на використання Твору способами, зазначеними у п.п. 2.1.1–2.1.3 цього Договору, на території України, а також право на розповсюдження Твору як невід’ємної складової частини Видання на території України та інших країн шляхом передплати, продажу та безоплатної передачі третій стороні.
4. Строк, на який надаються права.
4.1. Договір є чинним з дати підписання та діє протягом усього часу функціонування Видання.
5. Застереження.
5.1. Автор(и) заявляє(ють), що:
– він/вона є автором (співавтором) Твору;
– авторські права на даний Твір не передані іншій стороні;
– даний Твір не був раніше опублікований і не буде опублікований у будь-якому іншому виданні до публікації його Видавцем (див. також п. 2.2);
– Автор(и) не порушив(ли) права інтелектуальної власності інших осіб. Якщо у Творі наведені матеріали інших осіб за виключенням випадків цитування в обсязі, виправданому науковим, інформаційним або критичним характером Твору, використання таких матеріалів здійснене Автором(ами) з дотриманням норм міжнародного законодавства і законодавства України.
6. Реквізити і підписи сторін.
Видавець: Інститут теоретичної фізики імені М.М. Боголюбова НАН України.
Адреса: м. Київ, вул. Метрологічна 14-б.
Автор: Електронний підпис від імені та за погодження всіх співавторів.
.png){kind=small}
