Вплив лазерного світла на формування і властивості нанокристалів кремнію в шаруватих структурах a-Si/Sn

Автор(и)

  • V. B. Neimash інститут фізики НАН України
  • A. S. Nikolenko Інститут фізики напівпровідників НАН України
  • V. V. Strelchuk Інститут фізики напівпровідників НАН України
  • P. Ye. Shepelyavyi Інститут фізики напівпровідників НАН України
  • P. M. Litvinchuk Institute of Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • V. V. Melnyk інститут фізики НАН України
  • I. V. Olkhovyk інститут фізики НАН України

DOI:

https://doi.org/10.15407/ujpe64.6.522

Ключові слова:

кремнiй, аморфний, нанокристал, кристалiзацiя, олово, лазер

Анотація

Методами комбiнацiйного розсiювання свiтла та оптичної мiкроскопiї дослiджено вплив iнтенсивностi лазерного свiтла i температури на кристалiзацiю аморфного кремнiю, iндуковану оловом. Експериментально показано iснування не теплових механiзмiв впливу лазерного свiтла на формування нанокристалiв кремнiю та на їх Раманiвський спектр. Фотоiонiзацiя кремнiю та електрон-фононна взаємодiя розглядаються як можливi причини виявлених ефектiв. Обговорено перспективи їх застосування в нових технологiях виробництва плiвкового нанокремнiю для сонячних елементiв.

Посилання

M.C. Beard, J.M. Luther, A.J. Nozik. The promise and challenge of nanostructured solar cells. Nat. Nano 9, 951 (2014). https://doi.org/10.1038/nnano.2014.292

Z.I. Alferov, V.M. Andreev, V.D. Rumyantsev. Solar photovoltaics: Trends and prospects. Semiconductors 38, 899 (2004). https://doi.org/10.1134/1.1787110

B. Yan, G. Yue, X. Xu, J. Yang, S. Guha. High efficiency amorphous and nanocryistalline sillicon solar cells. Phys. Status Solidi A 207, 671 (2010). https://doi.org/10.1002/pssa.200982886

N.S. Lewis. Toward cost-effective solar energy use. Science 315, 798 (2007). https://doi.org/10.1126/science.1137014

R. Sondergaard, M. H?osel, D. Angmo, T.T. Larsen-Olsen, F.C. Krebs. Roll-to-roll fabrication of polymer solar cells. Mater. Today 15, 36 (2012). https://doi.org/10.1016/S1369-7021(12)70019-6

M. Birkholz, B. Selle, E. Conrad, K. Lips, W. Fuhs. Evolution of structure in thin microcrystalline silicon films grown by electron-cyclotron resonance chemical vapor deposition. J. Appl. Phys 88, 4376 (2000). https://doi.org/10.1063/1.1289783

B. Rech, T. Roschek, J. M?uller, S. Wieder, H. Wagner. Amorphous and microcrystalline silicon solar cells prepared at high deposition rates using RF (13.56 MHz) plasma excitation frequencies. Sol. Energy Mater. Sol. Cells 66, 267 (2001). https://doi.org/10.1016/S0927-0248(00)00183-5

M.K. van Veen, C.H.M. van derWerf, R.E.I. Schropp. Tandem solar cells deposited using hot-wire chemical vapor deposition, J. Non. Cryst. Solids 338-340, 655 (2004). https://doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2004.03.071

Y. Mai, S. Klein, R. Carius, H. Stiebig, L. Houben, X. Geng, F. Finger. Improvement of open circuit voltage in microcrystalline silicon solar cells using hot wire buffer layers. J. Non-Cryst. Solids 352, 1859 (2006). https://doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2005.11.116

H. Li, R.H. Franken, R.L. Stolk, C.H.M. van der Werf, J.K. Rath, R.E.I. Schropp. Controlling the quality of nanocrystalline silicon made by hot-wire chemical vapor deposition by using a reverse H2 profiling technique, J. Non-Cryst. Solids 354, 2087 (2008). https://doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2007.10.046

R. Amrani, F. Pichot, L. Chahed, Y. Cuminal. Amorphous-nanocrystalline transition in silicon thin films obtained by argon diluted silane PECVD, Cryst. Struct. Theor. Appl. 1, 57 (2012). https://doi.org/10.4236/csta.2012.13011

G. Fugallo, A. Mattoni. Thermally induced recrystallization of textured hydrogenated nanocrystalline silicon. Phys. Rev. B 89, 045301 (2014). https://doi.org/10.1103/PhysRevB.89.045301

O. Nast, A.J. Hartmann. Influence of interface and Al structure on layer exchange during aluminum-induced crystallization of amorphous silicon. J. Appl. Phys. 88, 716 (2000). https://doi.org/10.1063/1.373727

M. Jeon, C. Jeong, K. Kamisako. Tin induced crystallisation of hydrogenated amorphous silicon thin films. Mater. Sci. Technol. 26, 875 (2010). https://doi.org/10.1179/026708309X12454008169500

M.A. Mohiddon, M.G. Krishna. Growth and optical properties of Sn-Si nanocomposite thin films. J. Mater. Sci. 47, 6972 (2012). https://doi.org/10.1007/s10853-012-6647-0

D. Van Gestel, I. Gordon, J. Poortmans. Aluminum-induced crystallization for thin-film polycrystalline silicon solar cells: Achievements and perspective. Sol. Energy Mater. Sol. Cells 119, 261 (2013). https://doi.org/10.1016/j.solmat.2013.08.014

A. Mohiddon, G. Krishna. Metal induced crystallization. In Crystallization - Science and Technology. Edited by A. Marcello (InTech, 2012), p. 461. https://doi.org/10.5772/50064

V.V. Voitovych, V.B. Neimash, N.N. Krasko, A.G. Kolosiuk, V.Y. Povarchuk, R.M. Rudenko, V.A. Makara, R.V. Petrunya, V.O. Juhimchuk, V.V. Strelchuk. The effect of Sn impurity on the optical and structural properties of thin silicon films. Semiconductors 45, 1281 (2011). https://doi.org/10.1134/S1063782611100253

V.B. Neimash, V.M. Poroshin, A.M. Kabaldin, V.O. Yukhymchuk, P.E. Shepelyavyi, V.A. Makara, S.Y. Larkin. Microstructure of thin Si-Sn composite films. Ukr. J. Phys. 58, 865 (2013). https://doi.org/10.15407/ujpe58.09.0865

V. Neimash, V. Poroshin, P. Shepeliavyi, V. Yukhymchuk, V. Melnyk, A. Kuzmich, V. Makara, A.O. Goushcha. Tin induced a-Si crystallization in thin films of Si-Sn alloys. J. Appl. Phys. 114, 213104 (2013). https://doi.org/10.1063/1.4837661

V.B. Neimash, A.O. Goushcha, P.E. Shepeliavyi, V.O. Yukhymchuk, V.A. Dan'ko, V. Melnyk, A. Kuzmich. Mechanism of tin-induced crystallization in amorphous silicon. Ukr. J. Phys. 59, 1168 (2014).

V.B. Neimash, A.O. Goushcha, P.Y. Shepeliavyi, V.O Yuhymchuk, V.V. Melnyk, A.G. Kuzmich. Self-sustained cyclic tin induced crystallization of amorphous silicon. J. Mater. Res. 30, 3116 (2015). https://doi.org/10.1557/jmr.2015.251

V. Neimash, P. Shepelyavyi, G. Dovbeshko, A. Goushcha, M. Isaiev, V. Melnyk, A.G.Kuzmich. Nanocrystals growth control during laser annealing of Sn:(a-Si) composites. J. Nanomater. 2016, 7920238 (2016). https://doi.org/10.1155/2016/7920238

V.B. Neimash, A.O. Goushcha, L.L. Fedorenko, P.Ye. Shepelyavyi, V.V. Strelchuk, A.S. Nikolenko, M.V. Isaiev, A.G. Kuzmich. Role of laser power, wavelength, and pulse duration in laser assisted tin-induced crystallization of amorphous silicon. J. Nanomater. 2018, 1243685 (2018). https://doi.org/10.1155/2018/1243685

H. Richter, Z.P. Wang, L. Ley. The one phonon Raman spectrum in microcrystalline silicon, Solid State Commun. 39, 625 (1981). https://doi.org/10.1016/0038-1098(81)90337-9

I.H. Campbell, P.M. Fauchet. The effects of microcrystal size and shape on the one phonon Raman spectra of crystalline semiconductors. Solid State Commun. 58, 739 (1986). https://doi.org/10.1016/0038-1098(86)90513-2

T.R. Hart, R.L. Aggarwal, B. Lax. Temperature dependence of Raman scattering in silicon. Phys. Rev. B 1, 638 (1970). https://doi.org/10.1103/PhysRevB.1.638

R. Tsu, J.G. Hernandez. Temperature dependence of silicon Raman lines. Appl. Phys. Lett. 41, 1016 (1982). https://doi.org/10.1063/1.93394

A.S. Nikolenko. Temperature dependence of Raman spectra of silicon nanocrystals in oxide matrix. Ukr. J. Phys. 58, 980 (2013). https://doi.org/10.15407/ujpe58.10.0980

B.P. Falcao, J.P. Leitao, M.R. Correia, M.R. Soares, H. Wiggers, A. Cantarero, R.N. Pereira. Light-induced nonthermal population of optical phonons in nanocrystals. Phys. Rev. B 95, 115439 (2017). https://doi.org/10.1103/PhysRevB.95.115439

Опубліковано

2019-08-02

Як цитувати

Neimash, V. B., Nikolenko, A. S., Strelchuk, V. V., Shepelyavyi, P. Y., Litvinchuk, P. M., Melnyk, V. V., & Olkhovyk, I. V. (2019). Вплив лазерного світла на формування і властивості нанокристалів кремнію в шаруватих структурах a-Si/Sn. Український фізичний журнал, 64(6), 522. https://doi.org/10.15407/ujpe64.6.522

Номер

Розділ

Напівпровідники і діелектрики

Статті цього автора (авторів), які найбільше читають