Дослiдження взаємодiї атомiв елементiв IV та V груп з гранями Si(001), Ge(001)

Автор(и)

  • T. V. Afanasieva Taras Shevchenko National University of Kyiv

DOI:

https://doi.org/10.15407/ujpe60.02.0130

Ключові слова:

адсорбцiя, дифузiя, поверхня напiвпровiдника, окиснення

Анотація

Наведено результати дослiджень адсорбцiї та дифузiї атомiв елементiв IV (Si, Ge), V (As, Sb, Bi) груп на поверхнi Si(001) та Ge(001) методами квантової хiмiї. Дослiджено механiзм впливу адсорбцiї атомiв елементiв V групи на властивостi гранi (001) кремнiю. Проаналiзовано роботи, присвяченi проблемам адсорбцiї та коадсорбцiї атомiв елементiв V групи (As, Sb та Bi) та кисню на поверхнi Si(001), дифузiї аддимерiв Bi на поверхнi Si(001) та аддимерiв Si, Ge на поверхнi Ge(001). Результати дослiджень демонструють високий потенцiал методiв квантової хiмiї для отримання унiкальної iнформацiї про взаємодiю адсорбатiв з поверхнею напiвпровiдника.

Опубліковано

2019-01-22

Як цитувати

Afanasieva, T. V. (2019). Дослiдження взаємодiї атомiв елементiв IV та V груп з гранями Si(001), Ge(001). Український фізичний журнал, 60(2), 130. https://doi.org/10.15407/ujpe60.02.0130

Номер

Розділ

Наносистеми