Дослiдження морфологiї шарiв p-CdHgTe структурованих ковзним опромiненням iонами срiбла

Автор(и)

  • A. B. Smirnov V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • A. A. Korchovyi V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • N. M. Krolevec V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • V. A. Morozhenko V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • R. K. Savkina V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • R. S. Udovytska V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • F. F. Sizov V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine

DOI:

https://doi.org/10.15407/ujpe60.10.1055

Ключові слова:

наноструктурований шар, напiвпровiдник CdHgTe, метод iонної iмплантацiї

Анотація

У роботi вивчається “top–down” процес отримання наноструктурованого шару на поверхнi напiвпровiдникового матерiалу методом iонної iмплантацiї. У результатi опромiнення гетероструктур p-CdxHg1−xTe(x = 0,223)/СdZnTe iонами срiбла з енергiєю 100 еВ на поверхнi зразкiв вiдбувається утворення масиву наноструктур. Зменшення кута падiння iонного пучка до 40∘ приводить до того, що наноструктуювання набуває впорядкованого характеру. При цьому наслiдком стабiлiзацiї активованого iмплантацiєю стану системи є утворення полiфункцiональної системи оксид металу–напiвпровiдник Ag2O–p-CdxHg1−xTe (x = 0,2), що є розмiрно-залежним вiдгуком на опромiнення ковзним опромiненням та, що дозволяє сумiстити функцiональнi властивостi оксиду Ag2O (Eg = 1,41 еВ) та напiвпровiдника CdHgTe (Eg = 0,123 еВ), як основи для створення оптичних перетворювачiв та масивiв з НВЧ ґраток.

Опубліковано

2019-01-10

Як цитувати

Smirnov, A. B., Korchovyi, A. A., Krolevec, N. M., Morozhenko, V. A., Savkina, R. K., Udovytska, R. S., & Sizov, F. F. (2019). Дослiдження морфологiї шарiв p-CdHgTe структурованих ковзним опромiненням iонами срiбла. Український фізичний журнал, 60(10), 1055. https://doi.org/10.15407/ujpe60.10.1055

Номер

Розділ

Наносистеми

Статті цього автора (авторів), які найбільше читають