Індукована оловом кристалiзацiя аморфного кремнiю при iмпульсному лазерному опромiненнi

Автор(и)

  • V. B. Neimash Institute of Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • V. Melnyk Institute of Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • L. L. Fedorenko V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • P. Ye. Shepelyavyi V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • V. V. Strilchuk V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • A. S. Nikolenko V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • M. V. Isaiev Taras Shevchenko National University of Kyiv, Faculty of Physics
  • A. G. Kuzmych Taras Shevchenko National University of Kyiv, Faculty of Physics

DOI:

https://doi.org/10.15407/ujpe62.09.0806

Ключові слова:

сонячнi елементи, тонкi плiвки, нанокристали, кремнiй, олово, металом iндукована кристалiзацiя

Анотація

Методом комбiнацiйного розсiювання свiтла дослiджено процеси iндукованої оловом кристалiзацiї аморфного кремнiю в тонкоплiвкових структурах Si–Sn–Si пiд дiєю рiзних видiв iмпульсного лазерного опромiнення. Експериментально визначено та проаналiзовано залежностi розмiрiв та концентрацiї нанокристалiв Si вiд потужностi лазерних iмпульсiв тривалiстю 10 нс та 150 мкс з довжиною хвилi 535 нм та 1070 нм. Показано можливiсть ефективної iндукованої оловом трансформацiї кремнiю iз аморфної фази в кристалiчну за час порядку 10 нс в шарах a–Si товщиною 200 нм пiд дiєю iмпульсу лазерного свiтла. Теоретичний розрахунок просторового i часового розподiлу температур в зонi дiї лазерного променя використано для iнтерпретацiї експериментальних результатiв.

Опубліковано

2018-12-13

Як цитувати

Neimash, V. B., Melnyk, V., Fedorenko, L. L., Shepelyavyi, P. Y., Strilchuk, V. V., Nikolenko, A. S., Isaiev, M. V., & Kuzmych, A. G. (2018). Індукована оловом кристалiзацiя аморфного кремнiю при iмпульсному лазерному опромiненнi. Український фізичний журнал, 62(9), 806. https://doi.org/10.15407/ujpe62.09.0806

Номер

Розділ

Тверде тіло

Статті цього автора (авторів), які найбільше читають