Вплив телуру на деградацiйну стiйкiсть кристалiв напiвiзолюючого арсенiду галiю

Автор(и)

  • N. I. Klyui V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • A. I. Liptuga V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • V. B. Lozinskii V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
  • A. P. Oksanich M. Ostrogradskyi National University of Kremenchuk
  • S. E. Pritchin M. Ostrogradskyi National University of Kremenchuk
  • F. V. Fomovskii M. Ostrogradskyi National University of Kremenchuk
  • V. O. Yukhymchuk V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine

DOI:

https://doi.org/10.15407/ujpe59.11.1093

Ключові слова:

деградацiйна стiйкiсть кристалiв, метод Чохральського, внутрiшнi механiчнi напруження

Анотація

Показано, що вихiднi, необробленi кристали напiвiзолюючого GaAs, компенсованi телуром, пiсля ВЧ-обробок деградують iстотно менше порiвняно зi зразками, легованими хромом. Даний ефект свiдчить про суттєвий вплив типу компенсуючої домiшки на деградацiйну стiйкiсть матерiалу. Також встановлено, що кристали напiвiзолюючого GaAs, компенсованi телуром, що пройшли попередню обробку в плазмi водню, мають вищу деградацiйну стiйкiсть до впливу тривалих високочастотних i мiкрохвильових обробок, порiвняно з необробленими кристалами.

Посилання

N.I. Klyui, A.I. Liptuga, V.B. Lozinskii, A.N. Luk'yanov, A.P. Oksanich, and V.A. Terban, Pis'ma Zh. Tekhn. Fiz. 38, No. 13, 27 (2012).

N.I. Klyui, A.I. Liptuga, V.B. Lozinskii, A.P. Oksanich, V.A. Terban, and F.V. Fomovskii, Pis'ma Zh. Tekhn. Fiz. 38, No. 22, 28 (2012).

V.G. Sidorov, D.V. Sidorov, and V.I. Sokolov, Fiz. Tekh. Poluprovodn. 32, 1393 (1998).

E.D. Atanassova, A.E. Belyaev, R.V. Konakova, P.M. Lytvyn, V.V. Milenin, V.F. Mitin, and V.V. Shynkarenko, Effect of Active Actions on the Properties of Semiconductor Materials and Structures (NTC "Institute for Single Crystals", Kharkiv, 2007).

M.F. Whitaker and D.J. Dunstan, J. Phys.: Condens. Matter. 11, 2861 (1999).

https://doi.org/10.1088/0953-8984/11/13/020

M.V. Rao, in Advances in Induction and Microwave Heating of Mineral and Organic Materials, edited by Stanislaw Grundas (InTech, 2011), p. 459 [http://www.intechopen.com/books/advances-in-induction-and-microwave-heating-of-mineral-and-organic-materials/ultra-fast-microwave-heating-for-large-bandgap-semiconductor-processing].

N.I. Klyui, A.I. Liptuga, V.B. Lozinskii, A.P. Oksanich, V.A. Terban, and F.V. Fomovskii, Tekhn. Elektrodyn. Temat. Vypusk 1, 199 (2012).

Опубліковано

2018-10-28

Як цитувати

Klyui, N. I., Liptuga, A. I., Lozinskii, V. B., Oksanich, A. P., Pritchin, S. E., Fomovskii, F. V., & Yukhymchuk, V. O. (2018). Вплив телуру на деградацiйну стiйкiсть кристалiв напiвiзолюючого арсенiду галiю. Український фізичний журнал, 59(11), 1093. https://doi.org/10.15407/ujpe59.11.1093

Номер

Розділ

Тверде тіло

Статті цього автора (авторів), які найбільше читають