Дослiдження методами ядерного мiкроаналiзу поверхневих наношарiв структури золото–кремнiй
DOI:
https://doi.org/10.15407/ujpe58.04.0311Ключові слова:
ядерний мiкроаналiз, резерфордiвське зворотне розсiяння, iндуковане частинками характеристичне рентгенiвське випромiнювання, альфа-частинки, “cкануючий ядерний зонд”, поверхневi наношари, промiжний шарАнотація
Ядерними аналiтичними методами резерфордiвського зворотного розсiяння та iндукованого частинками характеристичного рентгенiвського випромiнювання дослiджено поверхневi наношари структури золото–кремнiй. Вiд параметрiв цих шарiв кардинально залежать електротехнiчнi властивостi побудованих на їх основi електронних приладiв. Вимiрювання виконано на прецизiйнiй мiкроаналiтичнiй установцi “Скануючий ядерний зонд” щойно введенiй в експлуатацiю в лабораторiї “Спектр”. Експеримент показав, що товщина шару золота, напиленого на поверхню зразкiв, дорiвнює ~ 17 нм (для одного зразка) i ~ 20 нм (для другого зразка). Неоднорiднiсть товщини цих шарiв по поверхнi не перевищує 1,6 нм i не виходить за межi похибки експерименту. Пiд золотом, у промiжному шарi золото–кремнiй, виявлено значну кiлькiсть домiшки. Iмовiрно, що це залишок фтору пiсля технологiчної операцiї травлення поверхнi кремнiю в сумiшi кислот, куди входить i плавикова (HF) кислота. Показово, що кiлькiсть виявленого
фтору для серiї вимiрiв сильно корелює з величиною струму альфа-частинок на мiшенi пiд час набору спектра. Очевидно, що локальний нагрiв мiшенi залежить вiд величини струму. Звiдси випливає рiзна швидкiсть локальної дифузiї атомiв фтору з поверхнi мiшенi.
Посилання
<li> S. Lebed, M. Tolmachov, O. Kukharenko, and O. Veselov, Nucl. Instrum. Methods B 267, 2013 (2009). <a href="https://doi.org/10.1016/j.nimb.2009.03.007">https://doi.org/10.1016/j.nimb.2009.03.007</a></li>
<li> Scanning ionic probe from the "Spectrum" laboratory, http://www.prober.in.</li>
<li> W.K. Chu, J.W. Mayer, and M.A. Nicolet, Backscattering Spectrometry (Academic Press, New York, 1978).</li>
<li> S.A.E. Johanson and T.B. Johanson, Nucl. Instrum. Methods B 137, 473 (1976). <a href="https://doi.org/10.1016/0029-554X(76)90470-5">https://doi.org/10.1016/0029-554X(76)90470-5</a></li>
<li> N.L. Glinka, General Chemistry (Gordon and Breach, New York, 1965). </li>
<li> M.B.H. Breese, D.N. Jamieson, and P.J.C. King, Materials Analysis Using a Nuclear Microprobe (Wiley, New York, 1996).</li>
<li> J. Maxwell, J. Campbell, and W. Teesdale, Nucl. Instrum. Methods B 43, 218 (1989). <a href="https://doi.org/10.1016/0168-583X(89)90042-6">https://doi.org/10.1016/0168-583X(89)90042-6</a></li>
</ol>
Downloads
Опубліковано
Як цитувати
Номер
Розділ
Ліцензія
Ліцензійний Договір
на використання Твору
м. Київ, Україна
Відповідальний автор та співавтори (надалі іменовані як Автор(и)) статті, яку він (вони) подають до Українського фізичного журналу, (надалі іменована як Твір) з одного боку та Інститут теоретичної фізики імені М.М. Боголюбова НАН України в особі директора (надалі – Видавець) з іншого боку уклали даний Договір про таке:
1. Предмет договору.
Автор(и) надає(ють) Видавцю безоплатно невиключні права на використання Твору (наукового, технічного або іншого характеру) на умовах, визначених цим Договором.
2. Способи використання Твору.
2.1. Автор(и) надає(ють) Видавцю право на використання Твору таким чином:
2.1.1. Використовувати Твір шляхом його видання в Українському фізичному журналі (далі – Видання) мовою оригіналу та в перекладі на англійську (погоджений Автором(ами) і Видавцем примірник Твору, прийнятого до друку, є невід’ємною частиною Ліцензійного договору).
2.1.2. Переробляти, адаптувати або іншим чином змінювати Твір за погодженням з Автором(ами).
2.1.3. Перекладати Твір у випадку, коли Твір викладений іншою мовою, ніж мова, якою передбачена публікація у Виданні.
2.2. Якщо Автор(и) виявить(лять) бажання використовувати Твір в інший спосіб, як то публікувати перекладену версію Твору (окрім випадку, зазначеного в п. 2.1.3 цього Договору); розміщувати повністю або частково в мережі Інтернет; публікувати Твір в інших, у тому числі іноземних, виданнях; включати Твір як складову частину інших збірників, антологій, енциклопедій тощо, то Автор(и) мають отримати на це письмовий дозвіл від Видавця.
3. Територія використання.
Автор(и) надає(ють) Видавцю право на використання Твору способами, зазначеними у п.п. 2.1.1–2.1.3 цього Договору, на території України, а також право на розповсюдження Твору як невід’ємної складової частини Видання на території України та інших країн шляхом передплати, продажу та безоплатної передачі третій стороні.
4. Строк, на який надаються права.
4.1. Договір є чинним з дати підписання та діє протягом усього часу функціонування Видання.
5. Застереження.
5.1. Автор(и) заявляє(ють), що:
– він/вона є автором (співавтором) Твору;
– авторські права на даний Твір не передані іншій стороні;
– даний Твір не був раніше опублікований і не буде опублікований у будь-якому іншому виданні до публікації його Видавцем (див. також п. 2.2);
– Автор(и) не порушив(ли) права інтелектуальної власності інших осіб. Якщо у Творі наведені матеріали інших осіб за виключенням випадків цитування в обсязі, виправданому науковим, інформаційним або критичним характером Твору, використання таких матеріалів здійснене Автором(ами) з дотриманням норм міжнародного законодавства і законодавства України.
6. Реквізити і підписи сторін.
Видавець: Інститут теоретичної фізики імені М.М. Боголюбова НАН України.
Адреса: м. Київ, вул. Метрологічна 14-б.
Автор: Електронний підпис від імені та за погодження всіх співавторів.
.png){kind=small}
