Вплив неоднорідного магнітного поля на геліконний розряд, збуджуваний різними антенами
DOI:
https://doi.org/10.15407/ujpe64.3.223Ключові слова:
гелiконний розряд, неоднорiдне магнiтне поле, iндукцiйнi антениАнотація
Дослiджено вплив неоднорiдного магнiтного поля, яке зростає з вiддаленням вiд iндукцiйної антени, на гелiконний розряд, збуджуваний на азимутально симетричнiй модi гелiконних хвиль m = 0 антенами двох типiв. Показано, що коли розряд утворюється петльовою антеною, яка вводить ВЧ енергiю через бокову границю плазми, перпендикулярно до зовнiшнього магнiтного поля, iонiзацiя зосереджена на периферiї розряду. В цих умовах, накладання неоднорiдного поля зменшує втрати iонiзуючих електронiв на стiнку i призводить до збiльшення генерацiї плазми. При збудженнi розряду планарною антеною вздовж магнiтного поля, основна iонiзацiя вiдбувається у внутрiшнiй, приосьовiй областi плазми. В цьому випадку зростання густини плазми в неоднорiдному полi, якщо воно має мiсце, може бути наслiдком контракцiї плазми у магнiтному полi, силовi лiнiї якого сходяться до осi.
Посилання
J.E. Stevens, M.J. Sowa, J.L. Cecchi. Helicon plasma source excited by a flat spiral coil. J. Vac. Sci. Technol. A 13, 2476 (1995). https://doi.org/10.1116/1.579491
V.F. Virko, V.M. Slobodyan, K.P. Shamrai, Yu.V. Virko. Helicon discharge excited by a planar antenna in a bounded volume. Probl. At. Sci. Technol. 6, 130 (2014).
G. Chevalier, F.F. Chen. Experimental modeling of inductive discharges. J. Vac. Sci. Technol. A 11, 1165 (1993). https://doi.org/10.1116/1.578488
S.V. Braginskii, A.N. Vasilyeva, A.S. Kovalev. Helicon plasma in a nonuniform magnetic field. Fiz. Plazmy 27, 741 (2001) (in Russian).
K.P. Shamrai, S. Shinohara, V.F. Virko, V.M. Slobodyan, Yu.V. Virko, G.S. Kirichenko.Wave stimulated phenomena in inductively coupled magnetized plasmas. Plasma Phys. Control. Fusion 47, A307 (2005). https://doi.org/10.1088/0741-3335/47/5A/022
S.N. Mordik, V.I. Voznyi, V.I. Miroshnichenko, A.G. Nagornyi, D.A. Nagornyi, V.E. Storizhko, D.P. Shulga. Helicon ion source in high-density plasma mode. Vopr. At. Nauki Tekhn. No. 5, 208 (2006) (in Russian).
K.P. Shamrai, V.B. Taranov. Volume and surface rf power absorption in a helicon plasma source. Plasma Sources Sci. Technol. 5, 474 (1996). https://doi.org/10.1088/0963-0252/5/3/015
O. Grulke, A. Stark, T. Windisch, J. Zalach, T. Klinger. Plasma profiles in a cylindrical helicon discharge with converging magnetic source field. Contrib. Plasma Phys. 47, 183 (2007). https://doi.org/10.1002/ctpp.200710026
X.M. Guo, J. Sharer, Y. Mouzouris, L. Louis. Helicon experiments and simulations in nonuniform magnetic field configurations. Phys. Plasmas 6, 3400 (1999). https://doi.org/10.1063/1.873580
V.M. Slobodyan, V.F. Virko, G.S. Kirichenko, K.P. Shamray. Helicon discharge excited by a planar antenna along the magnetic field. Vopr. At. Nauki Tekhn. No. 4, 235 (2003) (in Russian).
S. Shinohara, T. Motomura, K. Tanaka, T. Tanikawa, K.P. Shamrai. Large-area high-density helicon plasma sources. Plasma Sources Sci. Technol. 19, 034018 (2010). https://doi.org/10.1088/0963-0252/19/3/034018
I. Sudit, F.F. Chen. RF compensated probes for high-density discharges. Plasma Sources Sci. Technol. 3, 162 (1994). https://doi.org/10.1088/0963-0252/3/2/006
Downloads
Опубліковано
Як цитувати
Номер
Розділ
Ліцензія
Ліцензійний Договір
на використання Твору
м. Київ, Україна
Відповідальний автор та співавтори (надалі іменовані як Автор(и)) статті, яку він (вони) подають до Українського фізичного журналу, (надалі іменована як Твір) з одного боку та Інститут теоретичної фізики імені М.М. Боголюбова НАН України в особі директора (надалі – Видавець) з іншого боку уклали даний Договір про таке:
1. Предмет договору.
Автор(и) надає(ють) Видавцю безоплатно невиключні права на використання Твору (наукового, технічного або іншого характеру) на умовах, визначених цим Договором.
2. Способи використання Твору.
2.1. Автор(и) надає(ють) Видавцю право на використання Твору таким чином:
2.1.1. Використовувати Твір шляхом його видання в Українському фізичному журналі (далі – Видання) мовою оригіналу та в перекладі на англійську (погоджений Автором(ами) і Видавцем примірник Твору, прийнятого до друку, є невід’ємною частиною Ліцензійного договору).
2.1.2. Переробляти, адаптувати або іншим чином змінювати Твір за погодженням з Автором(ами).
2.1.3. Перекладати Твір у випадку, коли Твір викладений іншою мовою, ніж мова, якою передбачена публікація у Виданні.
2.2. Якщо Автор(и) виявить(лять) бажання використовувати Твір в інший спосіб, як то публікувати перекладену версію Твору (окрім випадку, зазначеного в п. 2.1.3 цього Договору); розміщувати повністю або частково в мережі Інтернет; публікувати Твір в інших, у тому числі іноземних, виданнях; включати Твір як складову частину інших збірників, антологій, енциклопедій тощо, то Автор(и) мають отримати на це письмовий дозвіл від Видавця.
3. Територія використання.
Автор(и) надає(ють) Видавцю право на використання Твору способами, зазначеними у п.п. 2.1.1–2.1.3 цього Договору, на території України, а також право на розповсюдження Твору як невід’ємної складової частини Видання на території України та інших країн шляхом передплати, продажу та безоплатної передачі третій стороні.
4. Строк, на який надаються права.
4.1. Договір є чинним з дати підписання та діє протягом усього часу функціонування Видання.
5. Застереження.
5.1. Автор(и) заявляє(ють), що:
– він/вона є автором (співавтором) Твору;
– авторські права на даний Твір не передані іншій стороні;
– даний Твір не був раніше опублікований і не буде опублікований у будь-якому іншому виданні до публікації його Видавцем (див. також п. 2.2);
– Автор(и) не порушив(ли) права інтелектуальної власності інших осіб. Якщо у Творі наведені матеріали інших осіб за виключенням випадків цитування в обсязі, виправданому науковим, інформаційним або критичним характером Твору, використання таких матеріалів здійснене Автором(ами) з дотриманням норм міжнародного законодавства і законодавства України.
6. Реквізити і підписи сторін.
Видавець: Інститут теоретичної фізики імені М.М. Боголюбова НАН України.
Адреса: м. Київ, вул. Метрологічна 14-б.
Автор: Електронний підпис від імені та за погодження всіх співавторів.
.png){kind=small}
