Спектроскопiчнi дослiдження плазми високочастотного розряду при плазмохiмiчному травленнi епiтаксiальних структур нiтриду галiю. Ukr. J. Phys. [інтернет]. 16, Грудень 2018 [цит. за 10, Вересень 2026];62(3):208. доступний у: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018698