«Спектроскопiчнi дослiдження плазми високочастотного розряду при плазмохiмiчному травленнi епiтаксiальних структур нiтриду галiю», Ukr. J. Phys., вип. 62, вип. 3, с. 208, Груд 2018, doi: 10.15407/ujpe62.03.0208.