«Спектроскопiчнi дослiдження плазми високочастотного розряду при плазмохiмiчному травленнi епiтаксiальних структур нiтриду галiю». 2018. Український фізичний журнал 62 (3): 208. https://doi.org/10.15407/ujpe62.03.0208.