Спектроскопiчнi дослiдження плазми високочастотного розряду при плазмохiмiчному травленнi епiтаксiальних структур нiтриду галiю. (2018). Український фізичний журнал, 62(3), 208. https://doi.org/10.15407/ujpe62.03.0208