Вплив тиску аргону в камерi осадження на властивостi легованих алюмiнiєм плiвок ZnO, вирощених методом пошарового осадження при магнетронному розпиленнi. Ukr. J. Phys. 2019;61(4):325. doi:10.15407/ujpe61.04.0325