Вплив тиску аргону в камерi осадження на властивостi легованих алюмiнiєм плiвок ZnO, вирощених методом пошарового осадження при магнетронному розпиленнi. Ukr. J. Phys. 2019, 61 (4), 325. https://doi.org/10.15407/ujpe61.04.0325.