Спектроскопiчнi дослiдження плазми високочастотного розряду при плазмохiмiчному травленнi епiтаксiальних структур нiтриду галiю. Ukr. J. Phys. 2018, 62 (3), 208. https://doi.org/10.15407/ujpe62.03.0208.