[1]
2019. Механiзми модифiкацiї профiлiв розподiлу домiшок при мас-спектрометричному аналiзi багатошарових наноструктур. Український фізичний журнал. 60, 6 (Січ 2019), 511. DOI:https://doi.org/10.15407/ujpe60.06.0511.