[1]
2018. Спектроскопiчнi дослiдження плазми високочастотного розряду при плазмохiмiчному травленнi епiтаксiальних структур нiтриду галiю. Український фізичний журнал. 62, 3 (Груд 2018), 208. DOI:https://doi.org/10.15407/ujpe62.03.0208.