[1]
2023. Розробка технології виготовлення нанорозмірних плівок з неоднорідною структурою методом іонно-плазмового осаджування. Український фізичний журнал. 68, 3 (Трав 2023), 210. DOI:https://doi.org/10.15407/ujpe68.3.210.