Механiзми модифiкацiї профiлiв розподiлу домiшок при мас-спектрометричному аналiзi багатошарових наноструктур. Ukr. J. Phys. [інтернет]. 17, Січень 2019 [цит. за 10, Вересень 2026];60(6):511. доступний у: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/uik/article/view/2019221