Дослiдження розповсюдження температурних профiлiв в нестехiометричних плiвках SiOx при лазерному вiдпалi. Ukr. J. Phys. [інтернет]. 24, Жовтень 2018 [цит. за 10, Вересень 2026];59(7):712. доступний у: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/uik/article/view/2018499