[1]
Паль, О. et al. 2022. Осадження металічних плівок на мікрочастинки у пастці ВЧ магнетронного розряду. Український фізичний журнал. 56, 12 (Лют 2022), 1315. DOI:https://doi.org/10.15407/ujpe56.12.1315.